化合物与环氧溴丙烷的反应

　　下面给大家介绍一种环氧溴丙烷相关的反应，反应产物可以用二氯甲烷、氯仿、乙酸乙酯等稀释，氯仿优选作为稀释溶剂。

　　还提供了上述式所示化合物的用途，其用作多功能交联剂或光致抗蚀剂组合物，通式的化合物是在双酚a骨架结构的化合物上引入的环氧基或可被氧化形成环氧基的烯丙基，环氧基在暴露时打开形成的交联网络。

　　根据一个实施方案，当化合物中的r为时，合成方法包括：使化合物与环氧溴丙烷在有机溶剂、碱度、根据进料的不同摩尔比的搅拌和加热条件下反应，反应后用有机溶剂稀释，用去离子水洗涤，用无水na2co3干燥，然后与甲醇溶剂交换，得到化合物。

　　该光刻膜是高度交联的膜，与非交联光刻膜相比具有较好的机械强度，并且可以改善图案塌陷行为，暴露过程基本上或完全不产生气体，此外，由于环氧基可以形成，阳离子活性位点与不断增长的交联网络相连，这可以控制产酸剂的扩散。这是因为，一方面，环氧开环交联形成的网络可以封装酸发生器，另一方面，酸发生器连接到环氧环上。

　　该化合物具有高的热稳定性，在烘烤中不沉淀，并且在光刻中不易改变，所提供的负分子玻璃光致抗蚀剂具有良好的成膜性能、高热稳定性、储存稳定性、低粘度，并且在使用期间不需要使用额外的溶剂进行稀释。

　　曝光后，曝光的图案具有高对比度、较好的分辨率和良好的灵敏度，可达到3.5μM光刻线宽，以上就给大家介绍的几点环氧溴丙烷的相关反应。